带NEXACT PiezoWalk驱动器的线性平台可在长行程范围内实现纳米级高精度定位。其配置直接测量线性和交叉滚柱轴承,可实现最高精度。
高分辨率PIOne编码器由PI研发,在对测量数据进行相应处理后,可实现远低于1纳米的位置分辨率。此外,由于信号周期短、信号质量高,PIOne编码器的线性误差小于1 %。PIOne编码器在研究参考信号时支持方向感应。
PiezoWalk技术将压电陶瓷促动器与压电的技术优势结合在一起。PiezoWalk步进驱动器不仅能提供亚纳米级分辨率、较大的力和高刚性,而且根据其驱动原理,其还能实现理论上无限的行程。不同于其他压电机动化驱动器原理,PiezoWalk步进驱动器不受滑动摩擦作用的影响。其是基于几个压电陶瓷促动器的静摩擦接触,这几个促动器沿一个动轮步进。静止状态下,PiezoWalk步进驱动器自锁,不消耗能量,无热量产生。
样本操纵、样本定位、高精度和高稳定性光学或机械部件、半导体行业中的精密机械部件、显微操纵、显微镜、自动化、有限空间内的应用、真空或无磁性环境中的应用。.
带NEXACT PiezoWalk驱动器的线性平台可在长行程范围内实现纳米级高精度定位。其配置直接测量线性和交叉滚柱轴承,可实现最高精度。
高分辨率PIOne编码器由PI研发,在对测量数据进行相应处理后,可实现远低于1纳米的位置分辨率。此外,由于信号周期短、信号质量高,PIOne编码器的线性误差小于1 %。PIOne编码器在研究参考信号时支持方向感应。
PiezoWalk技术将压电陶瓷促动器与压电的技术优势结合在一起。PiezoWalk步进驱动器不仅能提供亚纳米级分辨率、较大的力和高刚性,而且根据其驱动原理,其还能实现理论上无限的行程。不同于其他压电机动化驱动器原理,PiezoWalk步进驱动器不受滑动摩擦作用的影响。其是基于几个压电陶瓷促动器的静摩擦接触,这几个促动器沿一个动轮步进。静止状态下,PiezoWalk步进驱动器自锁,不消耗能量,无热量产生。
样本操纵、样本定位、高精度和高稳定性光学或机械部件、半导体行业中的精密机械部件、显微操纵、显微镜、自动化、有限空间内的应用、真空或无磁性环境中的应用。.